利用可能設備
22. マスクレス露光装置
34. 深堀りドライエッチング装置
81. 手動露光・ボンドアライメント装置 （独）ズース・マイクロテック社製 SUSS MA/BA Gen3 SPEC-KU
詳細
| 設備番号 | 22 |
|---|---|
| 部局名 | 学際融合教育研究推進センター ナノテクノロジーハブ拠点 |
| カテゴリ | その他 |
| 設備名称 | マスクレス露光装置 |
| メーカー名、型番等 | ナノシステムソリューションズ製 |
| 購入年月 | 平成22年 |
| おもな仕様・機能・特徴 |
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| 設置場所 | 桂キャンパス |
| 問い合わせ先 | Tel：075-753-5231 E-mail：kyodai-hub＊saci.kyoto-u.ac.jp （＊を@に変えてください） |
| 関連リンク | 京都大学ナノテクノロジーハブ拠点ユニット |
| 申請書 | 上記リンクに掲載している「京都大学ナノテクノロジーハブ拠点 設備利用管理システム」にアクセスしてください。 |
| 写真 |
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| 設備番号 | 34 |
|---|---|
| 部局名 | 学際融合教育研究推進センター ナノテクノロジーハブ拠点 |
| カテゴリ | その他 |
| 設備名称 | 深堀りドライエッチング装置 |
| メーカー名、型番等 | サムコ製 装置本体 RIE-800iPB-KU |
| 購入年月 | 平成22年3月 |
| おもな仕様・機能・特徴 | 基板サイズ：φ8インチまで。最大55μm/minのSiの高速エッチング。フォトレジストマスクにて高い選択比のエッチングが可能。 |
| 設置場所 | 桂キャンパス |
| 問い合わせ先 | TEL：075-753-5231 E-mail：kyodai-hub＊saci.kyoto-u.ac.jp （＊を@に変えてください） |
| 関連リンク | 京都大学ナノテクノロジーハブ拠点ユニット |
| 申請書 | 上記リンクに掲載している「京都大学ナノテクノロジーハブ拠点 設備利用管理システム」にアクセスしてください。 |
| 写真 |
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| 設備番号 | 81 |
|---|---|
| 部局名 | 学際融合教育研究推進センター ナノテクノロジーハブ拠点 |
| カテゴリ | その他 |
| 設備名称 | 手動露光・ボンドアライメント装置 （独）ズース・マイクロテック社製 SUSS MA/BA Gen3 SPEC-KU |
| メーカー名、型番等 | （独）ズース・マイクロテック社 手動露光・ボンドアライメント装置 SUSS MA/BA Gen3 SPEC-KU |
| 購入年月 | 平成22年3月 |
| おもな仕様・機能・特徴 |
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| 設置場所 | 桂キャンパス |
| 問い合わせ先 | Tel：075-753-5231 E-mail：kyodai-hub＊saci.kyoto-u.ac.jp（＊を@に変えてください） |
| 関連リンク | 京都大学ナノテクノロジーハブ拠点ユニット |
| 申請書 | 上記リンクに掲載している「京都大学ナノテクノロジーハブ拠点 設備利用管理システム」にアクセスしてください。 |
| 写真 |
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